MEMS kHz発振器

SiTimeのMEMS（微小電気機械システム）kHz発振器は、モバイルおよびその他のバッテリ駆動アプリケーションに最適化された超小型・低電力の32kHzデバイスです。このシリコンMEMS技術は、最小のフットプリントおよびチップスケールパッケージングを実現します。これらの部品は部品配置の柔軟性を高め、外部負荷コンデンサを不要にして部品点数と基板スペースを節約します。SiTimeでは、出荷時に出力がプログラム可能なNanoDrive™技術を採用しており、これによって電圧振幅を低減して電力を最小限に抑えます。また、1.2mm x 1.2mmのフットプリントで初の32kHz ±5ppm Super-TCXOを実現したTempFlat MEMS™技術も利用できます。

SiTimeのMEMS発振器は、MEMS共振子およびプログラム可能アナログ回路で構成されています。kHz MEMS発振器は、SiTime独自のMEMS First™プロセスで作られています。キーとなる製造ステップはEpiSeal™で、この工程ではMEMS共振子が+1,000°Cを超える温度でアニール処理されます。EpiSealでは、非常に強くクリーンな真空チャンバが作り出され、MEMS共振器をカプセル封止することによって、苛酷な環境下での高性能と高信頼性を確保します。