MEMSセンサ

加速度計
Murataは、車載用アプリケーション用の低加速度センサにおける世界的な市場リーダーです。 広範囲にわたる加速度センサ製品群には、安全が重要な車載用アプリケーションおよび産業用アプリケーションの両方向けの高性能デジタルおよびアナログ加速度センサが含まれます。 Murataの加速度センサは、同社独自の3D MEMS技術に基づいており、これらの製品は、最も要求の厳しいアプリケーション向けに多くの優れた製品特性および利点を提供します。 センシング素子および測定ASICは、面実装およびリフローはんだ付け用のピンを備えたデュアルインラインまたはデュアルインフラットラインプラスチックパッケージで組み立てられています。 これらのデバイスはシリコーンゲルで環境的に保護され、湿気の多い環境下および温度サイクルで優れた性能と信頼性を達成します。

さらに、過剰減衰の周波数応答を備えた堅牢性の高いセンシング素子設計により、過酷で振動のある環境であっても、優れた性能が可能です。 測定の方向は、実装面に対して平行または垂直です。 ASICには、ユニットの互換性のための較正係数を持つオンチップのEEPROMメモリが含まれます。 Murataの加速度センサには、デジタル的に活性化されたセルフテスト、較正メモリパリティあるいはチェックサム、そして継続的な接続故障検出など、強化された故障検出が含まれます。 これらの製品は、水平または垂直の測定を意図しています。 ゼロ点温度依存性は1mg/°C未満です。

傾斜計
Murataの傾斜MEMSセンサは、高精度なレベリングおよび傾斜測定機器に最適な選択肢です。 示差測定の原理を用いてすべてのコモンモード誤差およびノイズの影響を補正するSCA103Tシリーズを使用すれば、最高の精度を得ることができます。 MEMS市場の最高の衝撃耐久性は、移動機械、車両、飛行機、建設機械、およびハンドヘルドデバイスで問題のない測定を実現します。

ジャイロスコープ
Murata Electronics Oyは、同社の実績のある3D MEMS技術と高度に統合されたエレクトロニクスに基づくジャイロスコープコンポーネントおよび組み合わせセンサ（ジャイロスコープおよび加速度計を含む）を開発し製造しています。 産業用ジャイロスコープは、一般的に高価なモジュールの製品のためだけに利用可能な性能レベルを提供します。 検出素子と測定回路は、事前にモールドされたプラスチックのデュアルインライン（DIL）パッケージに組み立てられ、シリコーンゲルで保護され、ステンレス鋼のふたでカバーされます。 すべての製品はRoHS対応で、鉛フリーリフローはんだ付け向けに好適です。