M3-LS-1.8リニアスマートステージ

New Scale Technology社のM3-LS-1.8-6ダイレクトドライブ高精度マイクロステージ（試料台）は、小型OEMシステムに迅速かつ容易に組み込むことができるように設計されています。駆動用電子回路はすべてコンパクトなステージハウジングに内蔵されているため、外付け基板は不要です。

圧電駆動ステージは0.5μmの分解能を持ち、光学部品、プローブ、センサなどを精密に繰り返し位置決めできます。絶対エンコーディングにより、電源投入時にステージを原点復帰させる必要がないため、プロセスや実験でのエラーや中断を排除できます。

独自のリニアスライドは、高い直荷重や側荷重がかかっても、均一で非常に低い摩擦力しか生みません。6個のボールベアリングを使用したキネマティックVガイドウェイにより、他のマイクロステージによく見られるケージクリープや摩擦スパイクの問題が解消されます。

M3-LSは、高い剛性と横方向の安定性を備え、バックラッシュがなく、移動範囲全体で振れが10µm未満です。

ステージは、標準のシリアルインターフェースを介して、シンプルで高度なモーションコマンドを受け付けます。USBアダプタを使用して、1つのNew Scale Pathway™ソフトウェアの画面から複数のステージに電力を供給し、制御することができます。直感的なスクリプトジェネレータを使用して、自動操作用のコマンドシーケンスを簡単に作成できます。また、M3-LSステージは、標準的なI²CまたはSPIを介してお客様のシステムプロセッサから直接駆動することもできます。

M3-LSリニアスマートステージは、わずか3.3V_DCで動作し、移動時の消費電力は0.75W未満（標準）です。このデバイスは、USBや標準バッテリで駆動することができます。内蔵の圧電モータは、電力を使用せずに位置を保持します。内部電子回路は、超低電力アプリケーション向けにスリープモードに切り替えることができます。