Sensirion

SFC6000D/SFM6000Dマスフローコントローラ/メータ

精密センサ素子と信号処理を1つのチップで実現したSensirionの高精度流量センサ

SensirionのSFC6000D/SFM6000Dマスフローコントローラおよびメータの画像SFC6000DおよびSFM6000D製品の心臓部には、Sensirionの卓越したCMOSens®テクノロジーが宿っています。高精度のセンサ素子と最先端の信号処理をシングルチップ化することで、正確に較正され、温度補償された信号を提供します。このセンサ技術により、Sensirionの流量計とコントローラは、非常に魅力的なシステムコストながら、速度、精度、再現性において比類のない評価を得ています。CMOSensのチップは長期安定性に優れているため、再較正は必要ありません。

SFC6000Dは、超高速のセトリング時間と高いコントロールレンジを実現しています。SFC6000D、SFM6000Dは、複数のガスに対して工場で較正されており、メカニカルコネクタは市販品と交換できる高い柔軟性を持っています。

SFC6000DとSFM6000Dは高性能で低価格であるため、ガスフラッシング、FOUP、分析機器、コーティングおよび医療機器、プロセスオートメーション、ガス混合など、幅広い用途に最適です。

特長
  • プラスチックボディと高集積エレクトロニクスを組み合わせた画期的なコンセプト
  • スモールフォームファクタで軽量
  • 高精度/繰り返し精度（設定値の2%/0.2%）
  • 広い制御範囲（500：1）
  • 超高速セトリング時間（100ms）
  • RS485およびI²Cデジタルインターフェース
  • 交換可能な6mmプッシュインおよびダウンマウントコネクタ
  • NISTトレーサブル較正
  • ドリフトがなく、現場での再較正が不要

SFC6000D Mass Flow Controllers and Meters

画像メーカー品番商品概要センシング範囲入手可能な数量価格詳細を表示
MFC MASS FLOW CONTROLLER GASSFC6000D-20SLMMFC MASS FLOW CONTROLLER GAS20 SLM23 - 即時$59,715.00詳細を表示
MFC MASS FLOW CONTROLLER GASSFC6000D-5SLMMFC MASS FLOW CONTROLLER GAS5 SLM33 - 即時$59,715.00詳細を表示
MFC MASS FLOW CONTROLLER GASSFC6000D-50SLMMFC MASS FLOW CONTROLLER GAS50 SLM42 - 即時$59,715.00詳細を表示

SFM6000D Mass Flow Controllers and Meters

画像メーカー品番商品概要センシング範囲入手可能な数量価格詳細を表示
MFM MASS FLOW METER GASSFM6000D-50SLMMFM MASS FLOW METER GAS50 SLM31 - 即時$34,975.00詳細を表示
MFM MASS FLOW METER GASSFM6000D-5SLMMFM MASS FLOW METER GAS5 SLM42 - 即時$34,975.00詳細を表示
MFM MASS FLOW METER GASSFM6000D-20SLMMFM MASS FLOW METER GAS20 SLM17 - 即時$34,975.00詳細を表示

Evaluation Kit

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EVAL KIT SFC/SFM FLOW PRODUCTSEK-F5X SFC/SFM6XXX AND SFC/SFM5XXXEVAL KIT SFC/SFM FLOW PRODUCTS150 - 即時$31,303.00詳細を表示
刊行： 2023-02-22