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SFC6000D/SFM6000Dマスフローコントローラ/メータ
精密センサ素子と信号処理を1つのチップで実現したSensirionの高精度流量センサ
SFC6000DおよびSFM6000D製品の心臓部には、Sensirionの卓越したCMOSens®テクノロジーが宿っています。高精度のセンサ素子と最先端の信号処理をシングルチップ化することで、正確に較正され、温度補償された信号を提供します。このセンサ技術により、Sensirionの流量計とコントローラは、非常に魅力的なシステムコストながら、速度、精度、再現性において比類のない評価を得ています。CMOSensのチップは長期安定性に優れているため、再較正は必要ありません。
SFC6000Dは、超高速のセトリング時間と高いコントロールレンジを実現しています。SFC6000D、SFM6000Dは、複数のガスに対して工場で較正されており、メカニカルコネクタは市販品と交換できる高い柔軟性を持っています。
SFC6000DとSFM6000Dは高性能で低価格であるため、ガスフラッシング、FOUP、分析機器、コーティングおよび医療機器、プロセスオートメーション、ガス混合など、幅広い用途に最適です。
特長
- プラスチックボディと高集積エレクトロニクスを組み合わせた画期的なコンセプト
- スモールフォームファクタで軽量
- 高精度/繰り返し精度（設定値の2%/0.2%）
- 広い制御範囲（500：1）
- 超高速セトリング時間（100ms）
- RS485およびI²Cデジタルインターフェース
- 交換可能な6mmプッシュインおよびダウンマウントコネクタ
- NISTトレーサブル較正
- ドリフトがなく、現場での再較正が不要
SFC6000D Mass Flow Controllers and Meters
| 画像 | メーカー品番 | 商品概要 | センシング範囲 | 入手可能な数量 | 価格 | 詳細を表示 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
 |  | SFC6000D-20SLM | SENSOR FLOW GAS 20 SLM | 20 SLM | 132 - 即時 | $64,874.00 | 詳細を表示 |
| | SFC6000D-5SLM | SENSOR FLOW GAS 5 SLM | 5 SLM | 153 - 即時 | $64,874.00 | 詳細を表示 |
| | SFC6000D-50SLM | SENSOR FLOW GAS 50 SLM | 50 SLM | 56 - 即時 | $64,874.00 | 詳細を表示 |
SFM6000D Mass Flow Controllers and Meters
| 画像 | メーカー品番 | 商品概要 | センシング範囲 | 入手可能な数量 | 価格 | 詳細を表示 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|  | SFM6000D-50SLM | SENSOR FLOW GAS 50 SLM | 50 SLM | 28 - 即時 | $37,997.00 | 詳細を表示 |
| | SFM6000D-5SLM | SENSOR FLOW GAS 5 SLM | 5 SLM | 40 - 即時 | $37,997.00 | 詳細を表示 |
| | SFM6000D-20SLM | SENSOR FLOW GAS 20 SLM | 20 SLM | 21 - 即時 | $37,997.00 | 詳細を表示 |
Evaluation Kit
| 画像 | メーカー品番 | 商品概要 | 入手可能な数量 | 価格 | 詳細を表示 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
|  | EK-F5X SFC/SFM6XXX AND SFC/SFM5XXX | EVAL KIT SFC/SFM FLOW PRODUCTS | 39 - 即時 | $32,388.00 | 詳細を表示 |
刊行： 2023-02-22
日本