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SXUV100広帯域フォトダイオード
Opto DiodeのSXUV100広帯域フォトダイオードは、EUVおよび真空UV検出向けの設計
Opto DiodeのSXUV100は、極端紫外線（EUV）および真空紫外線（VUV）の信頼性の高い検出用に設計された大面積フォトダイオードです。SXUV100は、100mm²の有効領域とウィンドウレス設計により、1nm～200nmの波長範囲にわたって、直接光子吸収と安定した応答性を提供します。
高真空および超高真空環境用に設計されたSXUV100は、シンクロトロンビームライン、プラズマ診断、その他の要求の厳しい科学用または産業用アプリケーションでの使用に最適です。このフォトダイオードは、長期安定性と耐放射線性のために酸化物不動態化シリコン接合を特長としています。
低暗電流、高シャント抵抗、堅牢な機械設計のSXUV100は、正確なEUV/VUV測定が重要な場面で高性能を発揮します。
特長
- 幅広いスペクトル応答：1nm～200nm（EUVおよびVUV）
- 広い有効領域：100mm²
- ウィンドウレス、酸化パシベーション処理済みシリコン設計
- 高真空環境での安定性
- 低い暗電流と高いシャント抵抗
- 長期間の使用に耐える丈夫な構造
応用
- シンクロトロンビームライン診断
- EUVおよびVUV分光法
- 患者モニタリングおよび診断
- 半導体リソグラフィツール
- 真空紫外線センシング
- 科学および産業研究用装置
SXUV100 Wideband Photodiode
更新日： 2025-07-28
刊行： 2025-06-16
日本