AXUV100G大面積フォトダイオード
Opto DiodeのAXUV100Gは、極端紫外線(EUV)および高エネルギー検出用の大面積フォトダイオード
Opto DiodeのAXUV100Gは、真空または制御された環境において、極端紫外線(EUV)、軟X線、高エネルギー放射線を直接検出するために設計された高性能フォトダイオードです。100mm²の広いアクティブエリアを持つこの検出器は、高感度と広い空間カバレッジを必要とするアプリケーションに最適化されています。
AXUV100Gは、1nm~200nmのスペクトル範囲で最大の光子透過率を実現するウィンドウレス構造を備えた、安定した酸化物パッシベーション処理済みシリコンフォトダイオード構造を採用しています。その低暗電流と高シャント抵抗は低ノイズ測定をサポートし、科学機器、シンクロトロンビームモニタリング、半導体リソグラフィツールに理想的となります。
高真空対応に設計されたAXUV100Gは、精度と安定性が重要視される過酷な条件下で信頼性の高い性能を発揮します。堅牢な設計と大面積のフォーマットにより、ビームライン診断や高エネルギー検出システムに容易に組み込むことが可能です。
- 1nm~200nmの幅広いスペクトル応答(EUVおよび軟X線)
- 広いアクティブエリア:100mm²
- ウインドウレス、酸化物パシベーション処理構造で最高の光子感度を実現
- 低ノイズ動作のための高いシャント抵抗
- 低暗電流
- 真空対応設計
- 機械的安定性に優れた耐久性のあるパッケージ
- シンクロトロンビームラインモニタリング
- EUVリソグラフィと半導体メトロロジー
- 軟X線と高エネルギー光子の検出
- 科学研究と計測機器
- プラズマ診断
- 極端紫外線測定
- 高真空検知システム


