デバイスの小型化およびより高度の機能の構成用MEMS製品

MEMS流量センサ

D6F-PHシリーズ MEMS差圧センサ

環境への優れた耐性を備えた、小型、高精度差圧センサ

• 経済的
• ±3%RDの高精度
• 直線化および温度補償済み
• デジタル出力（I²C通信）
• バイパス構成の影響を低減するための高流量インピーダンス

	品番	商品概要
	D6F-PH0025AD1	SENSOR AIRFLOW 0-250Pa PCB TERM
	D6F-PH0505AD3	SENSOR AIRFLOW +/- 50Pa PCB TERM
	D6F-PH5050AD3	SENSOR AIRFLOW +/- 500Pa PCB TERM

D6Fシリーズ MEMS流量センサ

高精度質量流量検出

• 高精度
• 空気、非腐食性ガス、天然ガスに適用可能
• 低消費電力
• 耐埃性能
• RoHS対応

	品番	商品概要
	D6F-V03A1	AIRFLOW SENSOR 0-3 M/SEC 3.3V
	D6F-W01A1	AIRFLOW SENSOR 0-1 M/SEC 12/24V
	D6F-W04A1	AIRFLOW SENSOR 0-4 M/SEC 12/24V
	D6F-W10A1	SENSOR AIRFLOW MNT 12/24V
	D6F-P0010A2	SENSOR AIRFLOW 0-50KPA W/CONN
	D6F-P0010A1	SENSOR AIRFLOW 0-50KPA PCB TERM
	D6F-P0001A1	SENSOR FLOW TYPE 0.1 LPM MICRO
	D6F-01A1-110	SENSOR AIR FLOW TYPE 0-1LTR PLST
	D6F-02A1-110	SENSOR AIR FLOW TYPE 0-2LTR METL
	D6F-03A3-000	MASSFLOW SENSOR 0-3 LPM
	D6F-10A6-000	AIRFLOW SENSOR MEMS 10L/MIN
	D6F-20A5-000	FLOW SENSOR MEMS 20L/MIN
	D6F-20A6-000	AIRFLOW SENSOR MEMS 20L/MIN
	D6F-50A6-000	FLOW SENSOR MEMS 50L/MIN

MEMS圧力センサ

2SMPP MEMSゲージ圧力センサ

小型サイズおよび低消費電力が特長

• 超小型6.1 × 4.7 × 8.2mm（L × W × H）
• 優れた電気的特性
• 経済的ソリューション
  • -2.5±4mVのオフセット電圧
  • 31.0±3.1mVのスパン電圧
• 0.2mWの低消費電力
• 低い温度の影響

	品番	商品概要
	2SMPP-02	SENSOR PRESSURE 0-5PSI 0-37KPA
	2SMPP-03	SENSOR PRESSURE -7-7PSI-50-50KPA

2SMPB絶対圧力センサ

統合型CMOSを持つ圧電抵抗ブリッジ技術

• 高度検出
• ±6Pa（±50cm）の高精度
• 自動的スリープモードによる低消費電力
• 小型パッケージ：4mm x 4mmチップ
• 温度定格：±2ºC
• 24ビットのI2Cデジタル出力

	品番	商品概要
	2SMPB-01-01	ABSOLUTE PRESSURE SNSR 30-110KPA

MEMS熱センサ

D6Tシリーズ MEMS熱センサ

高感度により静止した人物の存在を検出可能

• OMRON独自のMEMSおよびASIC技術が高SNRを達成
• デジタル出力付きで優れたノイズ耐性
• 低クロストーク視野特性を持つ高精度エリア温度検出
• アプリケーションノートが利用可能
• RoHS対応品

	品番	商品概要
	D6T44L06	PIR SENSOR 4X4 PIXEL THERMAL PCB
	D6T8L06	PIR SENSOR 1X8 PIXEL THERMAL PCB