SCHA63T MEMSセンサ

Murata Electronicsの「SCHA63T」は、低コストなMEMS（マイクロ電気機械システム）ソリューションとして、高い性能を持つシングルパッケージの産業用6DoF（自由度）コンポーネントです。このレベルの慣性センサの性能を持つセンサは、通常、高価なハイエンドの慣性計測ユニット（IMU）モジュールでしか利用できなかったため、産業用や農業用アプリケーションで必要な精度や正確さを得るにはコストがかかるという問題がありました。このセンサは、過酷な環境下でのマシンダイナミクスや位置検出で、センチメートル単位の精度を可能にします。このセンサは、Murataの実績ある静電容量方式の3D-MEMS技術を使用して、XYZ軸で加速度±6g、角速度±300°/s（または±125°/s）を正確に検出します。ジャイロスコープは、工場出荷時に直交誤差0.25%以下、ジャイロバイアス不安定度1°/hレベル、ノイズ密度0.0015°/s/√Hzの低ノイズを実現するクロス軸較正を行い、安定したシステム構築を実現しています。

MEMSセンサから受け取ったすべての信号は、柔軟なSPIデジタルインターフェースを使用する2つの混合信号アプリケーション固有の集積回路（ASIC）を使って処理されます。センシング素子とASICは、RoHS指令に準拠し、19.71mm x 12.15mm x 4.6mm（長さ x 幅 x 高さ）SOIC 32ピンプラスチックハウジングにパッケージされており、ハウジングは製品の寿命まで信頼性の高い動作を保証し、安全で堅牢、そして検証済みの設計となっています。SCHA63Tは、MEMSとカスタムASICに統合された広範な自己診断機能により、安全性が重要なアプリケーションに最適です。さらに、3つのセンサのうち2つは、-40°C～+110°Cの全温度範囲にわたって、優れた直線性、振動性能、感度、そして安定したオフセットを備えています。SCHA63Tは、安全で堅牢な、検証済みの設計を保証するのに役立ちます。