3M

CMPパッドコンディショナ

3MのCMPパッドコンディショナは、パッドとディスクの寿命を延ばすための最適化

「3MのCMPパッドコンディショナ」の画像3Mのダイヤモンド、ソフトブラシ、およびマイクロレプリケイテッド化学機械平坦化（CMP）パッドコンディショナは、最も厳しいプロセス要件を満たすように設計されています。3MのTrizact™パッドコンディショナは、精密に設計された微細なダイヤモンドコーティングセラミック構造により、最も要求の厳しい先端ノードプロセスにおいて、優れた安定したディスク対ディスク性能を発揮します。ダイヤモンドパッドコンディショナは、3M独自の焼結砥粒技術を使用し、ダイヤモンドと基材を化学的・機械的に強力に結合させることで、ダイヤモンドを無傷のまま所定の位置に保ち、長期にわたって安定したコンディショニング性能を発揮します。

リソース
特長
  • 幅広いCMPプロセスおよびプロセスステップに使用可能
  • パッドとディスクの寿命を延ばすための最適化
  • 様々なパッド硬度、スラリー、プロセス要件に対応する幅広いソリューション
  • パッドとディスクの寿命が長く、メンテナンスシャットダウンの回数を減らすことができ、所有コストを削減できる可能性が上昇
  • カスタマイズ可能なコンディショニングの強度
応用
  • CMP
  • 化学機械平坦化
  • ウェハー製造
  • 高機能ノード（メモリとロジック）
  • ハードディスクドライブの製造

Diamond Pad Conditioners

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3M DIAMOND PAD CONDITIONER A3799		A37993M DIAMOND PAD CONDITIONER A379915 - 即時$38,357.00詳細を表示
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3M DIAMOND PAD CONDITIONER X252S		X252S3M DIAMOND PAD CONDITIONER X252S10 - 即時$43,557.00詳細を表示
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3M DIAMOND PAD CONDITIONER X150C		X150C3M DIAMOND PAD CONDITIONER X150C10 - 即時$43,557.00詳細を表示
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3M DIAMOND PAD CONDITIONER X251S		X251S3M DIAMOND PAD CONDITIONER X251S0 - 即時$43,557.00詳細を表示
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Diamond Pad Conditioners - C Series

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3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C21		C2120-S3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C2110 - 即時$60,642.00詳細を表示
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3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C21		C2160-S3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C2110 - 即時$60,642.00詳細を表示

Trizact™ Pad Conditioners

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3M TRIZACT PAD CONDITIONER, B5-M		B5-M990-5S23M TRIZACT PAD CONDITIONER, B5-M10 - 即時$86,894.00詳細を表示
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3M TRIZACT PAD COND B5T-2910-5S2		B5T-2910-5S23M TRIZACT PAD COND B5T-2910-5S210 - 即時$57,585.00詳細を表示
刊行： 2025-10-02