3M

CMPパッドコンディショナ

3MのCMPパッドコンディショナは、パッドとディスクの寿命を延ばすための最適化

「3MのCMPパッドコンディショナ」の画像3Mのダイヤモンド、ソフトブラシ、およびマイクロレプリケイテッド化学機械平坦化（CMP）パッドコンディショナは、最も厳しいプロセス要件を満たすように設計されています。3MのTrizact™パッドコンディショナは、精密に設計された微細なダイヤモンドコーティングセラミック構造により、最も要求の厳しい先端ノードプロセスにおいて、優れた安定したディスク対ディスク性能を発揮します。ダイヤモンドパッドコンディショナは、3M独自の焼結砥粒技術を使用し、ダイヤモンドと基材を化学的・機械的に強力に結合させることで、ダイヤモンドを無傷のまま所定の位置に保ち、長期にわたって安定したコンディショニング性能を発揮します。

リソース
特長
  • 幅広いCMPプロセスおよびプロセスステップに使用可能
  • パッドとディスクの寿命を延ばすための最適化
  • 様々なパッド硬度、スラリー、プロセス要件に対応する幅広いソリューション
  • パッドとディスクの寿命が長く、メンテナンスシャットダウンの回数を減らすことができ、所有コストを削減できる可能性が上昇
  • カスタマイズ可能なコンディショニングの強度
応用
  • CMP
  • 化学機械平坦化
  • ウェハー製造
  • 高機能ノード（メモリとロジック）
  • ハードディスクドライブの製造

Diamond Pad Conditioners

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3M DIAMOND PAD CONDITIONER A3799A37993M DIAMOND PAD CONDITIONER A37990 - 即時$37,143.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER X181CX181C3M DIAMOND PAD CONDITIONER X181C0 - 即時$42,178.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER X253CX253C3M DIAMOND PAD CONDITIONER X253C0 - 即時$42,178.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER X252SX252S3M DIAMOND PAD CONDITIONER X252S0 - 即時$42,178.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER X150CX150C3M DIAMOND PAD CONDITIONER X150C0 - 即時$42,178.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER X251SX251S3M DIAMOND PAD CONDITIONER X251S0 - 即時$42,178.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER A7101A71013M DIAMOND PAD CONDITIONER A71010 - 即時$48,857.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER S122,S1223M DIAMOND PAD CONDITIONER S122,10 - 即時$61,133.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER B138LB138L3M DIAMOND PAD CONDITIONER B138L10 - 即時$61,133.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER A189HA189H3M DIAMOND PAD CONDITIONER A189H0 - 即時$63,896.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER A189LA189L3M DIAMOND PAD CONDITIONER A189L0 - 即時$63,949.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER A2813A28133M DIAMOND PAD CONDITIONER A28130 - 即時$63,949.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER A3700A37003M DIAMOND PAD CONDITIONER A37000 - 即時$68,634.00詳細を表示

Diamond Pad Conditioners - C Series

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3M DIAMOND PAD CONDITIONER C280-C280-S3M DIAMOND PAD CONDITIONER C280-0 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER C260-C260-S3M DIAMOND PAD CONDITIONER C260-0 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SERC260-A, 4.25 IN3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SER0 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SERC250-A3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SER0 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SERC250-S3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SER0 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SERC280-A3M DIAMOND PAD CONDITIONER C SER0 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C21C2120-S3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C210 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C21C2120-A3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C210 - 即時$58,722.00詳細を表示
3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C21C2160-S3M DIAMOND PAD CON C SERIES, C210 - 即時$58,722.00詳細を表示

Trizact™ Pad Conditioners

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3M TRIZACT PAD CONDITIONER, B75-B75-2990-5S23M TRIZACT PAD CONDITIONER, B75-10 - 即時$84,143.00詳細を表示
3M TRIZACT PAD CONDITIONER, B5-MB5-M990-5S23M TRIZACT PAD CONDITIONER, B5-M10 - 即時$84,143.00詳細を表示
3M TRIZACT PAD CONDITIONER B25-2B25-2910-5S23M TRIZACT PAD CONDITIONER B25-210 - 即時$88,591.00詳細を表示
3M TRIZACT PAD CONDITIONER B6-19B6-1900-5S23M TRIZACT PAD CONDITIONER B6-190 - 即時$88,591.00詳細を表示
3M TRIZACT PAD CONDITIONER T SERB6T-1900-5S23M TRIZACT PAD CONDITIONER T SER0 - 即時$91,114.00詳細を表示
3M TRIZACT PAD COND B25T-2910-5SB25T-2910-5S23M TRIZACT PAD COND B25T-2910-5S10 - 即時$91,114.00詳細を表示
3M TRIZACT PAD COND B5T-2910-5S2B5T-2910-5S23M TRIZACT PAD COND B5T-2910-5S20 - 即時$55,762.00詳細を表示
刊行： 2025-10-02